В данной работе изучались структурные особенности распределения атомов Pd и Fe в многослойных пленках, полученных напылением в разряде Пеннинга. Процесс получения пленок относится к разряду существенно неравновесных, но вместе с тем, относительно простых с точки зрения возможностей структурных реализаций.
Существенно, что возникающий в процессе напыления "динамический хаос" стабилизируется при кристаллизации, что позволяет исследовать полученную структуру методами неразрушающего контроля. Поэтому, изучение процессов самоорганизации, при напылении многослойных пленок, представляет интерес с точки зрения выявления механизмов возникновения кластеров и их моделирования, т.к. является методом с достаточно широким классом возможностей.
В работе показано, что самоорганизация в процессе напыления и последующей кристаллизации сопровождается не только упорядочением в виде кластеров, но и сами кластеры располагаются упорядоченно, что хорошо вписывается в концепцию "динамического хаоса", развитую Ю.Л. Климонтовичем.